半导体EUV光刻机用二氧化碳增压?机研发及产业化

围绕半导体光刻机对二氧化碳增压风机严苛要求，攻关超高速永磁同步电机、磁悬浮轴承系统及高频驱动与控制器等关键技术。重点突破电机电磁与热结构一体化设计、主动磁轴承本体及高速稳定控制算法，构建一体化超高速旋转系统，建立高可靠性与安全冗余体系，解决转子动力学等难题，实现核心部件国产化。