半导体行业用高洁净高精度晶圆传输机器人研发设计平台技改项目

半导体行业用高洁净高精度晶圆传输机器人研发设计平台技改项目位于辽宁沈阳，属于机械电子电器类项目[电子电器]，该项目是改建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为255-308万元。