中芯北方集成电路制造（北京）有限公司使用Ⅱ类射线装置建设项目

中芯北方拟购置1台CA20 Fab型工业CT设备，生产厂家为YXLON、销售单位为康姆艾德机械设备（上海）有限公司，该设备带有自屏蔽铅柜，购置后拟安装在北京经济技术开发区文昌大道18号11号楼P2A厂房三层无尘室晶圆缺陷检测区域，用于集成电路生产中晶圆的缺陷检测。本项目总投资金额1957.3万元。