基于半导体垂直领域大模型的智能设备健康管理系统

针对半导体制造关键工序设备参数控制精度要求日益提升，传统设备调参与配方优化过度依赖专家经验、调参周期长、跨机台经验难以复用、异常响应滞后等瓶颈，项目拟研发形成1套智能设备健康管理系统软件，主要攻关内容包括半导体垂直领域大模型与知识底座、设备健康管理智能体及跨机台经验迁移策略库。项目实施后可实现异常检测、溯因诊断与配方优化的自主闭环，推动设备运维从'事后维修+专家试调'向'数据+知识双轮驱动的预测性...