半导体用超高纯钽铌铪靶材精炼及高端靶材精密加工建设项目
项目介绍
半导体用超高纯钽铌铪靶材精炼及高端靶材精密加工建设项目位于陕西榆林,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是扩建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价受理公示,项目计划投资金额为2730-3300万元。
项目拟投资3000万元,在现有厂区预留厂房空地内新增半导体用超高纯钽、铌、铪及其合金靶材精炼及靶材精密加工产线。产线计划投资1000万元购置先进冷坩埚悬浮熔炼炉、机加及配套环保设施10多台/套,补充运营铺底流动资金2000万元。本项目建成后预计可新增年产半导体用电子级超高纯(≥5N)铌锭、钽锭、铪锭及其靶材共计15吨规模。
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