面向光互联核心器件的高端装备产业化项目

项目通过购置激光干涉仪、纳米级三坐标测量机、白光干涉仪、高精度光学平台及减振基座等设备建成面向光互联核心器件的高端装备生产线，实现年产微纳光学耦合与精密组装设备、高精度光学测试设备、微纳光学P&P和AOI设备共180台套的生产能力。\u0028该备案为告知性备案，涉及有关行业管理部门职责的，以行业管理部门意见为准）。