图双精密装备（绍兴）有限公司年产50台光刻机技术改造项目

本项目为上海图双全资子公司绍兴基地核心产业化升级项目，通过产能整体转移、产线智能化升级，破解原有场地与产能瓶颈，聚焦半导体光刻、涂胶设备产能及交付能力提升。项目一期总投资3亿元，用于新基地建设、无尘车间改造、智能产线及精密检测设备配套，建成精密装备全流程标准化、批量化智造体系。项目采用双产线并行模式：成熟制程I线、KrF光刻机再制造年产15-20台；依托自主核心技术，全自动对准曝光机年产50台。同...