山东铭镓半导体有限公司磷化铟/氧化镓生产制造项目（一期）

开展磷化铟多晶材料和氧化镓外延片研发试验，设计年研发磷化铟多晶材料30批次（100kg/批次）、氧化镓外延片200批次（4片/批次），全部用于下游企业试样或者产品质量认证。主要研发设备有：磷化铟多晶炉、封管设备、风冷热泵模块机等29台/套。主要污染防治设施有：碱液喷淋塔、污水处理设施、密闭车间、隔声门窗、一般固废暂存场所和危险废物暂存间等。项目租赁建筑面积3908平方米。