百温区及以上氧化铝陶瓷静电卡盘研发及产业化项目

本项目总投资1.5亿元，对现有氧化铝陶瓷静电卡盘产线升级改造，提升产线高端化能力。同时围绕氧化铝陶瓷静电卡盘产品进行攻关研发，采用陶瓷电极共烧、多温区温度控制等关键核心技术，购置烧结装置、扩散连接装置、电子束焊接设备、贴合设备等先进设备。最终实现年产1000颗氧化铝陶瓷静电卡盘的能力。