百温区及以上氧化铝陶瓷静电卡盘研发及产业化项目
项目介绍
百温区及以上氧化铝陶瓷静电卡盘研发及产业化项目位于湖北,属于冶金矿产类项目[金属制品],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为13650-16500万元。
本项目总投资1.5亿元,对现有氧化铝陶瓷静电卡盘产线升级改造,提升产线高端化能力。同时围绕氧化铝陶瓷静电卡盘产品进行攻关研发,采用陶瓷电极共烧、多温区温度控制等关键核心技术,购置烧结装置、扩散连接装置...
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