高纯材料创新研究平台项目（二期）

审批福建泉州更新：2026-08-07 07:03:01

项目介绍

高纯材料创新研究平台项目（二期）位于福建泉州，属于建筑房地产类项目[实验室]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为4550-5500万元。

建设3000㎡专业化研发中心及超高纯电子材料中试平台，平台将建设前驱体小试工艺开发平台、源瓶充装清洗验证平台、ALD验证平台等功能，配套痕量金属分析、超高纯质量管控、9N高纯氮气系统、氦检仪等精密检测设备，构建从分子设计、工艺开发、小试验证、中试放大、超高纯提纯到无水无氧充装的全链条技术体系。新增生产能力（或使用功能）：Ta前驱体：10kg/aHf前驱体：50kg/aZr前驱体：50kg/aCo前...

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