高纯材料创新研究平台项目(二期)
项目介绍
高纯材料创新研究平台项目(二期)位于福建泉州,属于建筑房地产类项目[实验室],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为4550-5500万元。
建设3000㎡专业化研发中心及超高纯电子材料中试平台,平台将建设前驱体小试工艺开发平台、源瓶充装清洗验证平台、ALD验证平台等功能,配套痕量金属分析、超高纯质量管控、9N高纯氮气系统、氦检仪等精密检测...
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