1000吨/年电子材料用高性能气相纳米粉体材料扩建项目

拟在原有2万吨/年气相法纳米粉体材料项目生产车间扩建1条1000吨/年电子材料用高性能气相纳米粉体材料生产线，购置反应炉、脱酸炉、布袋除尘器、尾气吸收塔、风机等配套设备。对现有厂房2条生产线新增四氯化硅、三氯氢硅、一甲基氢二氯硅烷原材料及混料，并新增4个高位槽。