南沙万顷沙集成电路产业园磷化铟光子芯片Fab厂

租赁现有标准厂房，占地面积6000平方米，建筑面积6000平方米，建设磷化铟单晶衬底研发与生产基地。主要设备包括：搭建30台6英寸长晶炉，购置多线切割机、研磨机、抛光机、全自动清洗线等加工设备，配置霍尔测试仪、X光定向仪、KLA表面分析仪等检测仪器。建设年产能折合2英寸当量约7万片磷化铟衬底生产线。主要产品为：4英寸、6英寸磷化铟单晶衬底片及外延片。