半导体芯片生产线设备更新改造项目

项目位于莆田市涵江区赤港开发区江口镇赤港涵新路3555号，依托现有厂房实施技改，无新增用地，改造厂房约2000平方米;在原有动力设施基础上，配套水处理设施升级，保障洁净生产及废水达标排放，配套完善公用环保系统。新购离子注入机、光刻机、CVD设备等生产、检测配套设备16台套，同步淘汰老旧设备包含接触式光刻机、湿法刻蚀台、老式低压CVD设备、I旧款化学机械抛光机(CMP)、老式RCA清洗台等设备24台...