超精密半导体及连续式PVD设备产业化项目
项目介绍
超精密半导体及连续式PVD设备产业化项目位于广东东莞,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价受理公示,项目计划投资金额为69160-83600万元。
项目主要用于生产精密真空镀膜设备,设计生产能力包括超精密光学设备、TGV微孔镀膜设备及连续线设备约50台套/年。建设高等级洁净车间和优化生产布局,并引入自动化产线及配套设备,打造适配精密镀膜设备生产的...
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