超精密半导体及连续式PVD设备产业化项目

项目主要用于生产精密真空镀膜设备，设计生产能力包括超精密光学设备、TGV微孔镀膜设备及连续线设备约50台套/年。建设高等级洁净车间和优化生产布局，并引入自动化产线及配套设备，打造适配精密镀膜设备生产的先进制造基地，包括生产车间、设备中心、办公楼等，计划建筑面积约55000平方米，主要设备有数控龙门铣床、切割机、蔡司高精度坐标测量机、激光干涉仪等。