绍兴芯驭智能科技有限公司年产1.5万套陶瓷加热器项目

审批浙江绍兴更新：2026-07-02 07:00:10

项目介绍

绍兴芯驭智能科技有限公司年产1.5万套陶瓷加热器项目位于浙江绍兴，属于建材类项目[陶瓷材料]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为9510-11495万元。

项目租用东关街道中盆小微企业产业园7幢厂房一层10000m2进行生产建设。本项目原材料全部外购，采用高纯氮化铝粉体（主要原材料黏土、石英和长石等）提纯、HTCC高温共烧一体化成型技术或工艺，购置粉体提纯成套设备、1800℃高温烧结窑炉、钨钼线路精密印刷设备、热场仿真治控检测设备等主要设备，产品为半导体氮化铝陶瓷加热基座(Susceptor),主要用于晶圆刻蚀、PEGVD薄膜沉积半导体设备高精度温控...

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