MEMS 时钟器件工艺设备升级改造项目

依托自有现有9万平方米厂房开展工业设备更新升级，淘汰落后工艺设备，引入光刻机、温度补偿机、全自动分选机、腐蚀机、自动化封装生产线等 200 余台套先进设备，研发低抖动、超高频、高性能时钟器件，扩充产能，提高MEMS时钟器件的规模化量产能力。