集成电路制造用精密稀土抛光材料项目

集成电路制造用精密稀土抛光材料项目位于湖北武汉，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为8099-9790万元。

开展14nm-7nm集成电路用氧化铈抛光液开发及其与抛光工艺的适配性研究，建成一条年产能4000吨纳米氧化铈抛光液生产线，实现氧化铈抛光液在产线的实际应用。