集成电路制造用精密稀土抛光材料项目
项目介绍
集成电路制造用精密稀土抛光材料项目位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为8099-9790万元。
开展14nm-7nm集成电路用氧化铈抛光液开发及其与抛光工艺的适配性研究,建成一条年产能4000吨纳米氧化铈抛光液生产线,实现氧化铈抛光液在产线的实际应用。
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