新型显示用干刻设备的关键部件双极性静电吸盘

基于现有厂房及生产线，新增购置关键设备并完成产线的升级改造。依托上下游产业链协同攻关，攻克双极性静电吸盘核心制备技术，实现国产化替代应用，项目达成后将实现不少于5套双极性静电吸盘应用，有效补强产业链短板，提升新型显示产业供应链自主可控水平。