江西芯铟达半导体有限公司年产50万片磷化铟衬底项目

该项目总占地面积为21亩，总建筑面积为17000平方米。该项目为租赁厂房。购置主要设备为磷化铟多晶合成炉、磷化铟单晶炉、磷化铟真空焊管机、洁净清洗机、内圆锯、多线切割机、全自动晶圆倒角机、研磨机、上蜡机、下蜡机、粗精抛机、全自动单片清洗机、全自动包半装机。生产工艺流程：购置原材料（高纯度磷、高纯度铟）进行磷化铟多晶合成→单晶生长→晶棒加工→晶棒测试→多线切割→晶圆倒角→清洗→上蜡→粗抛→精抛→下蜡...