高速光通信核心芯片研发及产业化项目

项目拟租用嵊州市浦口街道东江路99号嵊州市经济开发区艇湖新兴产业园建设有限公司厂房，租用面积约25000平方米。计划对租用厂房进行装修改造，建设洁净车间、办公室、动力设施等。项目采用国际领先的磷化铟激光芯片生产工艺，采用3英寸晶圆，包含设计开发、外延生长、光栅制备、二次外延、光刻、介质膜沅积、金属膜沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀、减薄、解理、测试、封装、可靠性测试等。项目总投资11亿元，计划购置MOCV...