新型显示用紫外清洗灯研发及产业化项目
项目介绍
新型显示用紫外清洗灯研发及产业化项目位于广东广州,属于建筑房地产类项目[厂房],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为10010-12100万元。
利用现有厂房,联合攻关,通过购买Mask Case通用型,指标1100*1300mm、液晶面板机械手臂A型,指标精度±0.05mm、液晶面板移载机SS型,指标定位精度±0.1mm、氧化物高温退火炉通用型,指标工艺温度300-600℃可调设备调整现有产线生产紫外清洗灯,并完成产业化应用。项目聚焦紫外清洗灯的研发及应用,开展金属网格电极及气体成分、内部涂层等EUV灯关键技术攻关,提升紫外清洗灯的透光率...
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