半导体产业用静电卡盘

开展氧化铝、氮化铝等粉体制备技术研究及产业化控制工艺优化；开展静电卡盘关键制备技术研究；突破高致密烧结、精密电极印刷、界面稳定化及高耐腐蚀防护等核心技术；建设静电卡盘生产线并稳定量产；实现静电卡盘在集成电路龙头企业验证通过并小批量供货。