济南晶正电子科技有限公司铌酸锂产线及钽酸锂产线技改项目

提升铌酸锂生产线洁净水平、优化钽酸锂生产线沉积工艺，进一步提高产品加工精度，改善成品质量。主要技改内容如下：1.提升铌酸锂生产线洁净度。依托现有铌酸锂生产线，新增去胶、泡膜、腐蚀等工艺工序，增加铌酸锂生产线洁净度，有效提升产品加工精度与成品良品率；2.优化钽酸锂生产线沉积工艺。依托现有钽酸锂生产线，采用三氟化氮原位等离子体清洗去除腔室沉积物，提升沉积效果，改善成品质量。技改项目建成后，全厂保持50...