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富芯12英寸国产干式光刻机推广应用项目位于浙江杭州，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为12194-14740万元。
利用杭州富芯半导体有限公司现有厂房产线建设进行国产光刻机验证，通过装机与可靠性测试，工艺匹配与小批量试产，大批量压力测试与长期观察，良率与可靠性最终认定等验证流程，生产12英寸拟芯片和功率器件产品，达...
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