富芯12英寸国产干式光刻机推广应用项目

富芯12英寸国产干式光刻机推广应用项目位于浙江杭州，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为12194-14740万元。