富芯12英寸国产干式光刻机推广应用项目

利用杭州富芯半导体有限公司现有厂房产线建设进行国产光刻机验证，通过装机与可靠性测试，工艺匹配与小批量试产，大批量压力测试与长期观察，良率与可靠性最终认定等验证流程，生产12英寸拟芯片和功率器件产品，达到器件需求并实现量产。本项目采购国产干式I-Line光刻机1台和Krf光刻机1台满足验证指标要求，加快推进国产干式光刻机推广应用。