华宸旭半导体高端射频电源及等离子发生器研产基地

华宸旭半导体高端射频电源及等离子发生器研产基地位于福建泉州，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为22750-27500万元。