华宸旭半导体高端射频电源及等离子发生器研产基地

审批福建泉州更新：2026-06-08 07:00:56

项目介绍

华宸旭半导体高端射频电源及等离子发生器研产基地位于福建泉州，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为22750-27500万元。

聚焦半导体核心元器件领域，主营高端射频电源(RF)与远程等离子源(RPS)等半导体制造核心关键部件的研发、生产及销售，广泛应用于半导体工艺设备、LED、动力电池与太阳能光伏等领域，项目分三期建设:一期完成智能产业园约5000平方米厂房及研发办公楼改造，建成射频电源中试生产线及核心研发实验室，实现核心技术的中试验证。二期完善配套功能设施，拓展半导体设备核心部件周边产品研发，形成“核心部件+技术服务+...

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