氟化氪130nm国产光刻工艺平台项目

氟化氪130nm国产光刻工艺平台项目位于陕西西安，属于石油化学工程类项目[化学制品]，该项目是技改及其他，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为9282-11220万元。