氟化氪130nm国产光刻工艺平台项目
项目介绍
氟化氪130nm国产光刻工艺平台项目位于陕西西安,属于石油化学工程类项目[化学制品],该项目是技改及其他,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为9282-11220万元。
项目拟购置一台氟化氪130nm国产光刻机及相关配套设施,用于中试平台硅光工艺开发及国产光刻机验证应用。(该备案为告知性备案,涉及有关行业管理部门职责的,以行业管理部门意见为准)
登录后查看完整项目信息
- ✓本项目:业主联系人 · 环评信息 · 项目进展 · 附件下载
- ✓每天全国最新立项项目:工作日 07:00 更新,新项目抢先看