高速高带宽光模块用核心器件及材料

项目开发高速高带宽光模块用核心器件及材料，建设磷化铟衬底外延、激光器及薄膜铌酸锂调制器研发线。采购单晶生长炉、MOCVD、离子注入机、刻蚀机及高频测试系统等设备，形成年产6英寸InP外延片≥1000片、200Gbps激光器≥1万只、薄膜铌酸锂调制器≥3万只产能，性能达国际先进水平。