新型显示配套双极性静电吸盘研制及生产项目

项目主要研制交付面向8.5代以上超大面积玻璃基板的静电吸盘(包含RF下电极)设计开发、工艺验证、与量产交付(月产能达十套以上)等产业化实施。产品关键内容包含陶瓷材料验证、表面处理技术、RF电极设计、多区加热器设计与背面氦气冷却精密智能控制、聚焦环的设计与拼接面的管理，以保证电极吸附与加热均一性，并延长使用寿命。