新型显示配套双极性静电吸盘研制及生产项目
项目介绍
新型显示配套双极性静电吸盘研制及生产项目位于广东佛山,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为9100-11000万元。
项目主要研制交付面向8.5代以上超大面积玻璃基板的静电吸盘(包含RF下电极)设计开发、工艺验证、与量产交付(月产能达十套以上)等产业化实施。产品关键内容包含陶瓷材料验证、表面处理技术、RF电极设计、多...
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