新建年产国产化1um制程MEMS器件用光刻机、混合键合工艺表面激活设备10台（套）项目

新建年产国产化1um制程MEMS器件用光刻机、混合键合工艺表面激活设备10台（套）项目位于浙江嘉兴，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为9282-11220万元。