高端半导体静电卡盘研制及产业化项目

高端半导体静电卡盘研制及产业化项目位于广东佛山，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为18200-22000万元。

项目主要研制交付包含库伦型、J-R型等面向半导体12寸晶圆生产(薄膜沉积、刻蚀等工艺)应用之静电吸盘的设计开发、工艺验证、与量产交付(月产能达50套以上)等产业化实施。产品关键内容包含高纯度陶瓷材料(...