年产80吨重掺砷晶圆棒项目

在现有32台单晶炉中，拿出10台实施重掺砷产品技改，改造两台1600型单晶炉拉制12寸重掺砷；改造4台1200型单晶炉拉制8寸重掺砷；改造4台950型单晶炉拉制6寸重掺砷；在生产原料中投加砷元素，产出满足客户需求的重掺砷晶圆棒。自有资金:2500万元，申请银行贷款:0万元，其他0万元，计划于2027/04建成。