武汉诺峰半导体CMP装备产业化项目
项目介绍
武汉诺峰半导体CMP装备产业化项目位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为191100-231000万元。
武汉诺峰半导体CMP装备产业化项目:1,该项目总投资21亿元,购置11000平方米厂房,其中7800平方米规划装修成100级无尘车间及600平方米办公区。2,建成年产500台12英寸高端CMP装备及配套抛光垫/液产业线。3,建设CMP装备核心控制系统,精密轴承及国家级研发中心。
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