半导体微纳加工中试验证基地项目
项目介绍
半导体微纳加工中试验证基地项目位于广东佛山,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为18200-22000万元。
本项目主要从事化合物半导体及硅基MEMS传感领域的微纳加工中试公共服务,面向器件主要包括氮化镓功率器件、氮化镓光电子器件、环境传感器、力学传感器、光学传感器与执行器件等。本项目为技术改造,在原有制造基...
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