聚众科技年产500万套多模态传感器项目
项目介绍
聚众科技年产500万套多模态传感器项目位于浙江绍兴,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额暂未确定。
器芯片研发生产。购置设备有:ALMetal1台、TI/TINiMPRTA-FEOL1RTA-BEOL1,0xideCMP1、PolyCMP1台、MetalCMP1台、BPSG-USG1台、OxidePE-SiH41台、OxidePE-TEOS1台、OX/SINPE-SiH42台、Tungsten1台、HDP-STI1台、HDP-IMD1台、FTIR1台、THK~2台、MetalTHK1台、RS1台...
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