半导体设备用高纯氧化铝静电卡盘开发及产业化项目

半导体设备用高纯氧化铝静电卡盘开发及产业化项目位于广东潮州，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为16380-19800万元。

本项目利用原有厂房进行建设，购置先进的生产及检测设备，突破半导体级精密陶瓷部件及其材料的制造技术，项目完成后实现高纯氧化铝静电卡盘及其粉体的国产化替代，最终建成年产500片高纯氧化铝静电卡盘的生产线。