半导体制程特种气体处理设备研发制造项目

扩建（异地），致和半导体设备（江苏）有限公司现拟投资52000万元，在锡山区锡北镇泾辉路西、锡港路北新增用地16440平方米，建设19519.29平方米生产基地，建设半导体制程特种气体处理设备研发制造项目，进行半导体特种气体管道的生产，从事半导体配套高端零部件加工，年产半导体生产用不锈钢管道3万m2，特氟龙通风管道3万m2，年产值6亿元。