半导体制程特种气体处理设备研发制造项目

半导体制程特种气体处理设备研发制造项目位于江苏无锡，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到环评阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是环境影响评价拟审批公示，项目计划投资金额暂未确定。