年产6000套半导体用高纯石墨制品建设项目
项目介绍
年产6000套半导体用高纯石墨制品建设项目位于湖南湘潭,属于能源工业类项目[能源其他],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价审批结果公示,项目计划投资金额为4550-5500万元。
湖南晶材半导体科技有限公司拟投资5000万元,在韶山市高新技术产业开发区电子信息产业园18号栋建设年产6000套半导体用高纯石墨制品建设项目。项目占地面积约2666.84m²,总建筑面积约2666.84m²。项目生产工艺流程为:切割→纯化→机加工→清洗→烘干→涂层(碳化硅涂层、热解碳涂层、TaC涂层)→质量控制→包装等。主要原辅材料有:成型石墨、氟利昂R14、甲基三氯硅烷、丙烯、TaCl₅、氢气、...
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