进口二手投影光刻机分系统替代研制及工艺技术研究项目

进口二手投影光刻机分系统替代研制及工艺技术研究项目位于上海，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到环评阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是环评公示，项目计划投资金额为2057-2486万元。