睿晶半导体先进工艺光掩模版项目
项目介绍
睿晶半导体先进工艺光掩模版项目位于浙江宁波,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额暂未确定。
本项目通过引进镭射束曝光机、光掩模光学影像模拟测量仪、光掩模离子束缺陷修复设备等14台(套)设备,对现有生产线进行产能扩充。项目建成后将在现有产能基础上新增月产500片光掩模版的生产能力。
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