三维多芯片异构集成产业化项目一期

租赁绍兴昱耀科技发展有限公司厂房2750平方米，改造成万级洁净车间、配套库房、辅房、办公场所等。计划购入飞秒激光加工平台3套，激光打标机1台，晶圆划片机2台芯片测试平台5套，芯片耦合平台10套，以及各型配套测试设备。项目达产后预计实现年产飞秒直写波导芯片200万片，无源光组件1000万支，预计年产值1.4亿元，年利润不低于200C万元，年税收不低于900万元。