中微公司华南总部及半导体、泛半导体设备研发生产基地一期项目
项目介绍
中微公司华南总部及半导体、泛半导体设备研发生产基地一期项目位于广东广州,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价审批结果公示,项目计划投资金额为91000-110000万元。
主要从事半导体设备的生产、研发,生产仅包括组装、测试和包装,整机测试工序均在真空、保压状态下进行,再使用气枪喷射氦气进行气密性检测,不涉及通入特气进行反应测试,年产12台Gen8.6代等离子增强化学气...
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