中微公司华南总部及半导体、泛半导体设备研发生产基地一期项目

审批广东广州更新：2026-03-11 07:00:21

项目介绍

中微公司华南总部及半导体、泛半导体设备研发生产基地一期项目位于广东广州，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到环评阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是环境影响评价审批结果公示，项目计划投资金额为91000-110000万元。

主要从事半导体设备的生产、研发，生产仅包括组装、测试和包装，整机测试工序均在真空、保压状态下进行，再使用气枪喷射氦气进行气密性检测，不涉及通入特气进行反应测试，年产12台Gen8.6代等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备、3台蚀刻(Etch)设备，建设3个Gen4.5代等离子增强化学气相沉积(PECVD)研发机台、3个干法蚀刻(DryEtch)研发机台、1个原子沉积(ALD)研发机台。研发主要...

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