西安微视嘉科技半导体设备基地项目

租用洋天科技园7号厂房进行CVD设备组装生产、测试及技术攻关，涉及设备40台套。总建筑面积3241平，生产相关2157平，拟建洁净区/调试区/技术攻关区等，满足3台CVD并行测试。技术攻关聚焦设备性能提升\u0028真空与气路系统稳定性/腔室流场优化等\u0029，配套建设高精度环境控制与高纯介质供给等支撑条件，保障国产化技术突破。办公区1084平，满足100人办公需求。