恒利晶硅新材料单晶炉干泵抽速提升设备智能化升级技术改造项目

本项目升级改造1218台1302型干式真空泵。因现有设备技术缺陷，干泵真空抽速不足，单晶炉炉压控制失效，氧污染严重，能耗过高。通过采购4200型干泵，改造干泵匹配信号线及软件控制系统，改造真空管道接口，以干泵升级解决单晶硅片氧含量控制难题，抢占N型低氧硅片高端市场，提升产品竞争力。自有资金:12000万元，申请银行贷款:0万元，其他0万元，计划于2027/10建成。