基于多场耦合的大尺寸晶圆氧化均匀性提升关键技术与装备开发位于山东，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，市政类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额暂未确定。