杭州士兰集昕微电子有限公司特殊MEMS制造工艺研发和产业化技术改造项目
项目介绍
杭州士兰集昕微电子有限公司特殊MEMS制造工艺研发和产业化技术改造项目位于浙江杭州,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是改扩建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额暂未确定。
在已有的芯片产品研发平台和8英寸集成电路芯片生产线的基础上,围绕微镜阵列、磁传感器、微流控MEMS制造工艺开发和PDK、IP核研发的任务,新增工艺及量检测设备28台(套),其中国产设备23台(套),国...
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