基于自主成熟4MASK工艺的SGT-MOSFET芯片研发和产业化
项目介绍
基于自主成熟4MASK工艺的SGT-MOSFET芯片研发和产业化位于陕西西安,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是技改及其他,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为8190-9900万元。
本项目计划购置设备及软件共计20余台/套,包括:器件仿真、电路仿真及电磁仿真等专业设计软件;工业CT、KGD测试系统、高低温低气压试验箱等测试设备;以及定制用于工艺实现的新一代光刻掩模版,主要用于SG...
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