基于自主成熟4MASK工艺的SGT-MOSFET芯片研发和产业化

本项目计划购置设备及软件共计20余台/套，包括：器件仿真、电路仿真及电磁仿真等专业设计软件；工业CT、KGD测试系统、高低温低气压试验箱等测试设备；以及定制用于工艺实现的新一代光刻掩模版，主要用于SGT-MOSFET产品设计与测试验证，以保障流片产品的性能与可靠性。\u0028该备案为告知性备案，涉及有关行业管理部门职责的，以行业管理部门意见为准\u0029。