面向先进封装工艺的图形化晶圆几何形貌和应力量测设备技术研发及应用的建设项目
项目介绍
面向先进封装工艺的图形化晶圆几何形貌和应力量测设备技术研发及应用的建设项目位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为3640-4400万元。
购置干涉仪、电子式内调焦望远镜等材料及设备5台套,建成先进封装工艺的图形化晶圆几何形貌和应力量测设备生产线,年生产约3台套,年产值约5000万元。
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