高端半导体设备生产基地项目

项目拟投资60000万元建设高端半导体设备生产基地，建成后年产8英寸及12英寸全自动探针台600台、清洗设备40台、晶圆研磨设备20台、量检测设备40台及切割刀具10000只。项目总占地29105.14平方米，新建1#~7#厂房及综合楼，总建筑面积约58361平方米。主要工艺包括机械加工、抛丸、组装、氦检、终检、包装入库。废气经油雾净化装置和布袋除尘装置处理后无组织排放，生活污水接管至塘桥片区污水...