III-V族微纳加工平台激光器芯片产业化能力建设项目
项目介绍
III-V族微纳加工平台激光器芯片产业化能力建设项目位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为1874-2265万元。
在现有平台基础上,新增购MOCVD设备、镀膜机、ICP刻蚀设备、固化炉、老化炉、温循设备、ESD设备等设备共计10台国产设备,研发激光器芯片生产,产能将达到年产3700片2英寸外延片,实现激光器系列芯片年量产3000片、年产值4亿元。
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