6英寸高性能传感器及智能系统生产线建设项目

规划建设厂房、仓库及辅助生产用房，同时购置国内先进各类深反应离子刻蚀机、光刻机、涂胶显影机、超声波清洗机、配套环保安全设施及辅助生产装置，形成年产6英寸硅基MEMS芯片24万片(3.6万片压力计芯片、1.8万片陀螺仪芯片、0.6万片微振镜芯片及18万片红外探测器芯片)及6英寸硅基1.44万片MEMS器件晶圆片(1.2万片压力计及0.24万片陀螺仪)的生产能力。